本公司引進日本先進的激光儀器,超聲波儀器,雕刻和磨削機器等先進設(shè)備,同時擁有資深級的技術(shù)人員,能為客戶提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圓(Glass wafer),應(yīng)用于CMOS,CCD傳感器,集成電路或微機械元件封裝(MEMS),通信與數(shù)據(jù)處理,光學,電子產(chǎn)品,家電產(chǎn)品,軍工,科研等高科技產(chǎn)品。
產(chǎn)品特點:
典型應(yīng)用:
玻璃晶圓加技術(shù)參數(shù):
a)材料:康寧Eagle XG ,BOROFLOAT,PYREX7740,石英玻璃,B270,D263T,AF32,BK-7
b)標準厚度:0.1mm,0.145mm,0.2mm,0.3mm,0.5mm,0.7mm,1.0mm,1.1mm,1.5mm(厚度公差±0.02mm)
c)標準尺寸:Φ2",Φ3",Φ4",Φ5",Φ6",Φ8",Φ12"(其他尺寸可定制)
d)外觀:60/40;40/20;20/10
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm
f)平行度<0.01mm
g)各棱邊倒鈍C0.05~0.2mm
h)裂口<0.2mm,不可內(nèi)裂
i)表面清潔,不得有印記和污點,在潔凈工作臺下包裝,用專用盒子包裝。
玻璃晶圓基本性能:
技術(shù)參數(shù): |
|
密度(25℃) |
2.38g/cm2 |
膨脹系數(shù)(ISO 7991) |
3.17′10-6k-1 |
透光率 |
>91% |
軟化點 |
971℃ |
TTV/平整度 |
<0.005 |
Bow/翹曲度 |
<0.01 |
Warp/彎曲度 |
<0.01 |
努氏硬度 |
640 |