氣體質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter （縮寫為MFM），是一種非常精確的氣體流量的儀表，他的測量不會(huì)因?yàn)闇囟然驂毫Φ牟▌?dòng)而失準(zhǔn)，原則上是不需要溫度壓力補(bǔ)償?shù)摹?br>（1） 氣體流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。

對(duì)于多數(shù)氣體測量控制系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于氣體氣體質(zhì)量流量計(jì)／氣體質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。

（2） 氣體測量控制的自動(dòng)化

氣體質(zhì)量流量計(jì)／氣體質(zhì)量流量控制器可以將氣體流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示，累積流量自動(dòng)計(jì)量，數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄，電腦管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。 通常，模擬的MFC ／ MFM 輸入輸出信號(hào)為0～5V 或 4～20mA, 本公司目前所生產(chǎn)的所有MFC ＆ MFM， 其電子訊號(hào)控制方式為模擬式（Analog Type）而不是數(shù)字式（Digital Type）的， 敬請(qǐng)知悉。

（3） 可精確的定量控制流量

氣體質(zhì)量流量控制器可以精確的控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制，對(duì)于不同氣體的比例控制等是特別管用的。

（4）適用范圍廣

有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10MPa； 本公司 MFC／MFM可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體， 如 三氟化硼，三氯化硼，氯化氫，氟化氫等等）； 有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量可達(dá) 0 ～ 5 sccm，最大流量范圍可達(dá)0 ～ 120 slpm。 流量控制的范圍是滿量程的 2 ～ 100％（量程比為 50 ： 1），因此在很多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用