潔凈、無油、高真空泵的解決方案 成立于1973年，專業(yè)生產(chǎn)、維護(hù)低溫泵/冷泵、制冷機和氦壓縮機。服務(wù)的對象包括半導(dǎo)體制造工業(yè)、涂層工業(yè)、醫(yī)療器械制造公司以及其它科學(xué)和工業(yè)研究領(lǐng)域。 產(chǎn)品系列 1. 低溫泵/冷泵 Cryopump 2. 制冷機Cryostat 3. 氦氣壓縮機 Helium Compressor 4. 低溫泵、制冷機、壓縮機零配件（可與CTI, APD, 瓦里安/Ebara及萊寶兼容） 低溫泵/冷泵 Cryopump CRYO-PLEX®8型 抽速(升/秒): 空氣1500 l/s; 水氣4000l/s; 氫氣2500 l/s; 氬氣1200 通導(dǎo)(scc/min): 氬氣 重量（Kg）:20.4 吸氣能力（std.liters）：氬氣1000 氫氣18（5x10-6torr） 轉(zhuǎn)換點（torr.liters）:150 制冷時間（min）：90 泵口法蘭：6in.ANSI(外徑11in.) ISO NW200 10in.CF 外形尺寸（mm）：高526 CRYO-PLEX®8LP型 抽速(升/秒): 空氣1500l/s; 水氣4000l/s; 氫氣2200l/s; 氬氣1200 通導(dǎo)(scc/min): 氬氣700 重量（Kg）:19 吸氣能力（std.liters）：氬氣1000 氫氣12（5x10-6torr） 轉(zhuǎn)換點（torr.liters）:150 制冷時間（min）：90 泵口法蘭：6in.ANSI(外徑11in.) ISO NW200 10in.CF 外形尺寸（mm）：高179 長574 CRYO-PLEX®10型 抽速(升/秒): 空氣3000l/s; 水氣9000l/s; 氫氣5000l/s; 氬氣2500 通導(dǎo)(scc/min): 氬氣1500 重量（Kg）:38.6 吸氣能力（std.liters）：氬氣2000 氫氣24（5x10-6torr） 轉(zhuǎn)換點（torr.liters）:300 制冷時間（min）：60 泵口法蘭：10in.ANSI(外徑11in.) ISO NW320 14in.CF 外形尺寸（mm）：高508 CRYO-PLEX®16型 抽速(升/秒): 空氣5000l/s; 水氣16000l/s; 氫氣12000l/s; 氬氣4200 通導(dǎo)(scc/min): 氬氣500 重量（Kg）:72.6 吸氣能力（std.liters）：氬氣2500 氫氣15（5x10-6torr） 轉(zhuǎn)換點（torr.liters）:300 制冷時間（min）：150 泵口法蘭：16in.CVC(外徑17.7in.) ISO NW400 外形尺寸（mm）：高610