自動(dòng)41點(diǎn)精密測(cè)厚儀
產(chǎn)品型號(hào):進(jìn)口
自動(dòng)41點(diǎn)精密測(cè)厚儀是硅片幾何測(cè)量的小型臺(tái)式儀器。該指數(shù)是基于兩個(gè)厚鋼板相反對(duì)方展開,每個(gè)板塊包含了一套非接觸式電容式傳感器,可測(cè)硅片厚度、TTV、彎曲度、翹曲度等。
功能特點(diǎn)
非接觸操作
分辨率可達(dá)0.1微米
數(shù)學(xué)模擬真空吸盤
每片晶圓的最大測(cè)量時(shí)間:5秒
全自動(dòng)測(cè)量,無需任何操作
可連接電腦,提供數(shù)據(jù)評(píng)估軟件
提供快速、簡(jiǎn)單的重新校準(zhǔn)操作