硼磷含量測(cè)試儀 
產(chǎn)品型號(hào)：進(jìn)口 


 
 
 
 功能特點(diǎn)   
    該測(cè)試儀可以準(zhǔn)確的測(cè)出硅料中硼、磷等多達(dá)70多種雜質(zhì)的含量。 能夠進(jìn)行定性及定量分析，能實(shí)現(xiàn)一次進(jìn)樣多元素同時(shí)分析，分析軟件及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)便于操作，功能強(qiáng)大。

 
 技術(shù)指標(biāo)
   
■ 可編輯的分析條件和分析數(shù)據(jù)文件 
■ 可創(chuàng)建定量分析和定性分析必須的測(cè)量條件
■ 可完成定量和定性分析 
■ 可處理和確定從各種分析中獲得的數(shù)據(jù) 
■ 可脫機(jī)使用軟件，隨時(shí)查看數(shù)據(jù)庫(kù)資料，修改參數(shù) 

分光系統(tǒng) 

■ 波長(zhǎng)范圍 175nm～800nm 
■ 分光單元 全息凹面衍射光柵：焦距20cm 
■ 中階梯平面衍射光柵：焦距30cm 
■ 檢測(cè)器 進(jìn)口雙光電倍增管 
■ 光學(xué)分辨率 0.006nm(194nm) 
■ 波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置 進(jìn)口步進(jìn)電機(jī)，最小步距：0.0003nm 

高頻電源 

■ 發(fā)生器 它激式電子管光源，負(fù)高壓增益自動(dòng)調(diào)節(jié)，自動(dòng)匹配，自動(dòng)點(diǎn)火 
■ 工作頻率 40.68MHz 
■ 輸出功率 (0.6~1.2)KW(可調(diào)) 
■ 輸出頻率穩(wěn)定性 ≤ 0.01% 
■ 輸出功率穩(wěn)定性 ≤ 0.1% 
■ 電磁場(chǎng)泄露強(qiáng)度 距機(jī)身30cm處，電場(chǎng)強(qiáng)度≤1.5V/m，磁場(chǎng)強(qiáng)度≤0.15A/m 

儀器整體性能

■ 精密度 RSD ≤2% 
■ 波長(zhǎng)示值誤差 ±0.001nm 
■ 波長(zhǎng)重復(fù)性 ≤0.002nm 
■ 最小光譜帶寬 Mn257.610nm 半高寬≤0.01nm