經(jīng)濟(jì)型掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

KYKY-EM3200系列
經(jīng)濟(jì)型掃描電子顯微鏡

項(xiàng)目		EM3200	EM3200Z	EM3200A	EM3200AZ
分辨率		6.0nm(30KV)
放大倍數(shù)		1.5x~250,000x
電子槍類型		發(fā)叉式鎢絲陰極
加速電壓		0~30KV
透鏡系統(tǒng)		三級(jí)電磁透鏡
物鏡光闌		三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié)
樣品臺(tái)		手動(dòng)	X/Y軸自動(dòng)	手動(dòng)	X/Y軸自動(dòng)
行程	X	0~50mm(大樣品臺(tái)0~80mm)
	Y	0~50mm
	Z	0~25mm(大樣品臺(tái)0~30mm)
	R	360º
	T	‘-5º ~90º （大樣品0º~90º）
探測(cè)器		二次電子探測(cè)器，背散射電子探測(cè)器（可選），X-ray能譜儀（可選）
真空系統(tǒng)		擴(kuò)散泵	擴(kuò)散泵	分子泵	分子泵

KYKY-EM3200 Seria SEM

Type		EM3200	EM3200Z	EM3200A	EM3200AZ
Resolution		6.0nm(30KV)
Magnifation		1.5x~250,000x
Electron Gun		Hair fork tungsten cathode
Accel Voltage		0~30KV
Lens System		Level 3 electromagnetic lens
Lens Isis		three diaphragm can be adjusted without vacuum
Stage		Manually	X/Y axis automatic	Manually	X/Y軸自動(dòng)
Move range	X	0~50mm(large stage 0~80mm)
	Y	0~50mm
	Z	0~25mm(large stage 0~30mm)
	R	360º
	T	‘-5º ~90º （large stage 0º~90º）
Detector		secondary electron detector，backscattered electron detector （optional），X-ray Energy Disperse Spectroscopy（optional）
Vacuum System		diffusion pump	diffusion pump	molecular pump	molecular pump