詳細(xì)描述 儀器特點(diǎn) ◆ 超精密全自動(dòng)測(cè)量，四軸CNC控制； ◆ 精密花崗巖機(jī)臺(tái)，精度高、穩(wěn)定性好； ◆ 三軸THK精密直線導(dǎo)軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng)； ◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好； ◆ TZTEK自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量； ◆ 程控式6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源； ◆ 自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高，可加裝接觸式測(cè)頭； ◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、432、542等。 技術(shù)參數(shù) 型號(hào) VMU222 VMU322 VMU432 VMU542 行程(mm) 200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200 外部尺寸(mm) 1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620 1440×1000×1680 重量(kg) 240 250 310 400 承重(kg) 25 25 25 25 測(cè)量精度 XY軸* E2=(1.5+L/300)μm E2=(1.9+L/300)μm Z軸** E1=(5.0+L/200)μm 速度 XY軸 200mm/S Z軸 100mm/S 光柵尺 0.1μm Renishaw光柵尺 導(dǎo)軌 THK 圖像傳感器 高清晰彩色專用工業(yè)攝像機(jī) 光源 輪廓光 LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào) 表面光 6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨(dú)立操控，256級(jí)亮度可調(diào) 同軸光 LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào) 光學(xué)鏡頭 12.5:1連續(xù)變倍 放大倍率*** 光學(xué)放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230× 軟件 Vispec測(cè)量軟件（VMU版） 運(yùn)動(dòng)控制 自主專利的CNC直流伺服系統(tǒng) 保修期 1年 工作環(huán)境 溫度20℃±2℃，溫度變化