北京航星聯(lián)合科技有限公司/天津中精微儀器設(shè)備有限公司氣浮氣浮平移臺(tái)系列是經(jīng)過(guò)我們長(zhǎng)期不懈努力推出的，精度高、剛度特別強(qiáng)，已獲國(guó)家專利。國(guó)內(nèi)外先進(jìn)水平
氣浮平移臺(tái)實(shí)現(xiàn)了設(shè)計(jì)定型，可以快速訂制，行程250mm（12寸）XY臺(tái)正在備現(xiàn)貨。


 我公司的氣浮平移臺(tái)產(chǎn)品，一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
 也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。
 采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高精度生產(chǎn)場(chǎng)合。
 可提供超長(zhǎng)行程單軸工作臺(tái)。
 也可采用音圈電機(jī)、高精度絲杠配合我們獨(dú)創(chuàng)的5自由度氣浮聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)。
 平移臺(tái)可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)。

                                     

3軸龍門(mén)氣浮平移臺(tái)（已設(shè)計(jì)定型）                            3軸氣浮平移臺(tái)（已設(shè)計(jì)定型，圖示為帶防護(hù)型）
應(yīng)用于：集成電路測(cè)試、CCD鏡頭拼接儀等精密           應(yīng)用于：上述龍門(mén)氣浮平移臺(tái)所有應(yīng)用場(chǎng)合，臺(tái)面相
超精密測(cè)量場(chǎng)合。                                                   對(duì)小一些。此時(shí)一般要去掉部分防護(hù)。
應(yīng)用于：高精度激光加工等精密加工場(chǎng)合                     應(yīng)用于：光學(xué)零件加工設(shè)備、超精密加工設(shè)備


3軸氣浮平移臺(tái)的一部分可以單獨(dú)供貨，是單軸或雙軸氣浮平移臺(tái)

 

     

 

  雙軸氣浮平移臺(tái)                   雙軸氣浮平移臺(tái)（帶防護(hù)）             單軸氣浮平移臺(tái)              單軸氣浮平移臺(tái)（帶防護(hù)）

 

其他案例

                                              

    10m長(zhǎng)行程單軸平移臺(tái)                             3軸氣浮平移臺(tái)（帶主軸和轉(zhuǎn)臺(tái)）                          3軸氣浮平移臺(tái)（Z軸提升式）    

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