供應ADL維修、SEREN電源維修、SEREN射頻電源維修
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應用對象包括：刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng)，也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質加熱設備的電源
單頻射頻電源 、雙頻射頻電源 、 直流電源 、ESC靜電卡盤電源 、自動調諧匹配網(wǎng)絡。
全世界所有 AE電源( Advanced Energy) 集往廣州高技杰電源維修中心 AE電源維修最專業(yè)
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維修AE(Advanced Energy) AE電源 DC直流系列 全亞州所有美國AE電源集往廣州高技杰電源維修中心 Advanced Energy RF高頻電鍍電源

高技杰電氣維修德國 SINGULUS 濺鍍電源、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 美國 AE 濺鍍電源、RF 射 頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專業(yè)的技術，更迅速的響應高速增長的等離子體薄膜制造工藝之尖端電源的維修。 

全亞洲所有 AE( Advanced Energy) 集行廣州高技杰AE電源的維修中心 ENI ENI電源維修（ MKS ）等國際品牌 RF 射頻電源及直流電源.

高技杰電氣同時為各地區(qū)的半導體、數(shù)據(jù)存儲、光電子、真空鍍膜、真空濺鍍、研究所等行業(yè)提供專家級射頻電源維修保養(yǎng)。為ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護服務。 
Ion Beam Drive ： ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC( 直流系列 ) ：

MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW)
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE   SEREN R601
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW 
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW 
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18

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