鏈式爐
- 青島福潤德微電子有限公司
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產(chǎn)品簡介
設備用途:
用于半導體器件燒結、焊接、烘干、管殼氣密封裝等。
鏈（帶）式燒結爐特點
本設備為氣氛保護爐，保護氣氛為氫氣、氮氣、氬氣等。
設備具有連續(xù)工作性，保證生產(chǎn)效率。
獨特的氣幕簾結合，確保爐膛與空氣隔絕。
多溫區(qū)控制爐溫，方便調整工藝曲線。
鏈帶速度無級連續(xù)可調。
根據(jù)用戶要求可配加濕器
鏈(帶)式燒結爐主要技術指標
帶寬 90～350mm
爐膛高度 100～200mm
爐膛寬度 100～370mm
冷卻段長 1000～6000mm
溫度范圍 300～1050℃
等溫區(qū)長 600～1500mm
控制精度 ±2℃
控制段數(shù) 4～10段
帶速 20～500mm/min
升溫時間 90～240min
升溫功率 20～120KVA
保護氣體 3～5路氮氣0～100L/min
1路氫氣0～80L/min
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