青島福潤德牌四管擴散爐
- 青島福潤德微電子有限公司
- 聯(lián)系人：齊紅娟
- 電話：18266617134
- 手機：0532-68017157
- 傳真：0523-68017157
- 地址：青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
產(chǎn)品簡介
四管擴散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進(jìn)行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作
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