接觸電阻與線電阻量測系統(tǒng)，整組包含： Manual prober 手動探針座 1). Prober Main Stage 測試平臺 a). 4 Point Probe Head for Contact Resistivity 4點(diǎn)探頭 測試接觸電阻 i). Pin Count:12; Pitch are based on customer.s actual bus layout (for example as right photo with 12根Pin，針尖間距可以按客戶要求定做 "As Right Photo with d1=250μm, d2=500μm, d3=750μm, d4=1mm, d1=250μm, d2=500μm, d3=750μm, d4=1mm, d5=1.25mm in Sequential; W Line Width: 5mm; L Line Length: 10mm); Dia.: 100um; Pressure: 100 Grams" 如右圖尺寸，d1=250um,d2=500um,d3=750um,d4=1mm,d5=1.25mm d5=1.25mm in Sequential; W Line Width: 5mm; 圖形尺寸為寬5mm，長=10mm L Line Length: 10mm); Dia.: 100um; Pressure:100 Grams ii). Material: BeCu coaterd with Gold 材料： BeCu 鍍金 2). Covered glass on the stage 平臺覆蓋玻璃蓋板 3). Lever driven for Z up/down Z軸高度調(diào)節(jié) 4). Extended stage to accomdate sample size 可以放置樣品尺寸為156*156mm of 156mm*156mm Instrument High Precision Resistance Meter 高靈敏度電阻儀 1). Measurement range: 1μ; - 3M; 測量范圍：1μ; - 3M; 2). Comparator for pass/fail judgement Pass/Fail 比測儀 3). Equipped with RS232, GPIB,.EXT I/O 配載RS232，GPIB andEXT I/O接口 4). Offset voltage compensation 電壓偏置補(bǔ)償 5). Store up to 30 sets of measurement conditions 可以儲存30種不同測試條件 High Accuracy 0.05% 高精度0.05%誤差 Matrix Switch System for Measurement 測試切換系統(tǒng) 1). Switching controller 開關(guān)切換控制器 2). 16/24ch switching driver board 16/24Ch 開關(guān)驅(qū)動板 量測程式 接觸阻值與線阻值量測程式 程式參考畫面如右： 1. 控制量測儀器與切換開關(guān)以量得不同位置的 電阻值 2. 不同位置下量測的阻值外插取得接觸電阻 並進(jìn)行電阻、片電阻、體電阻率、電導(dǎo)率的轉(zhuǎn)換 3. 量取線電阻值 並進(jìn)行電阻、片電阻、體電阻率、 電導(dǎo)率的轉(zhuǎn)換 4. 各種開關(guān)與量測條件的輸入‚資料圖形的顯示與存取。