真空材料的要求與分類 13.1.1 材料的真空性能要求 (1) 氣體滲透率 氣體在壓力差的作用下對(duì)固體的滲入、擴(kuò)散、通過(guò)和逸出的過(guò)程稱為滲透，滲透的穩(wěn)態(tài)流率稱為滲透率。滲透率與氣體的種類和所用的材料有關(guān)。 (2) 材料的放氣性能 材料在真空環(huán)境下，原先吸附、溶解的氣體因動(dòng)態(tài)平衡被破壞而釋放的過(guò)程稱為放氣。放氣速率與放氣量和材料的種類、表面處理工藝、表面溫度、放氣時(shí)間有關(guān)。 (3) 材料的蒸汽壓和蒸發(fā)速率 在真空環(huán)境下，材料的蒸發(fā)和凝結(jié)達(dá)到平衡時(shí)的蒸汽壓力稱為飽和蒸汽壓。 13.1.2 真空材料的其它性能要求 (1) 機(jī)械強(qiáng)度 作為真空系統(tǒng)的器壁、管道等必須承受得住大氣的壓力 , 滿足最低機(jī)械強(qiáng)度和剛度要求。 (2) 熱學(xué)性能 真空系統(tǒng)往往要承受溫度變化，因此，也必須考慮材料的熔點(diǎn)和強(qiáng)度隨溫度的變化以及抗熱沖擊特性。 (3) 光學(xué)性能 這一點(diǎn)對(duì)光源產(chǎn)品制造十分重要，如玻璃的透光性、色偏差等。 (4) 電磁性能 在有電子束或離子束的系統(tǒng)中，需要屏蔽磁場(chǎng)或利用磁場(chǎng)，都要考慮材料的磁性能。13.2 金屬及其合金材料13.2.1 真空系統(tǒng)材料在制燈行業(yè)，排氣機(jī)的真空系統(tǒng)所用的金屬材料一般為不銹鋼，中心盤用碳鋼 , 接觸面經(jīng)滲碳及表面淬火處理。 聯(lián)系電話：13712331985 鄧