IRA 3 GMU/GMH是TESCAN最新推出的場發(fā)射掃描電子顯微鏡系列中樣品室最大的一款,以高品質(zhì),完全計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有很多用戶使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的獨(dú)創(chuàng)設(shè)計(jì)。 技術(shù)參數(shù)： 1. 分辨率:高真空(二次電子)1.0nm at 30kV (背散射電子): 2.0 nm at 30 kV 低真空(低真空二次電子)﹕1.5 nm at 30 kV 2.放大倍數(shù):1 to 1000000x 3.真空系統(tǒng):電子槍真空<3*10 -7Pa 樣品室/低真空7-500Pa 4.加速電壓0.2kV to 30Kv 5.電子束電流2pA—200nA 6.內(nèi)部直徑: 340mm 接口數(shù): 20+ 7.樣品臺行程:（5軸馬達(dá)控制） X=130mm——馬達(dá)控制 Y=130mm——馬達(dá)控制 Z=100mm——馬達(dá)控制 R=360°連續(xù).馬達(dá)控制 T=-80°至+90°.馬達(dá)控制 最大樣品高度145mm.